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一、操作便捷性:
1、方便的气路快速连接口,简化了流量控制系统与其他设备的链接。
2、配置有三种接口(宝塔式接口、双卡套式接口、KF接口),方便组合多种连接方式。
二、控制智能化:
采用数显流量显示仪,配合质量流量控制器,采集数据并控制流量。具有控制精度高,重复性好,响应速度快,稳定可靠等特点(气体质量流量控制器) 。
三、使用安全性:
1、采用单向阀技术,使气体流量在可控压力范围内控制,安全。
2、采用混气灌装置,使气体可以在充分混合后导入工作室内,确保不会泄漏。
四、周边拓展性:
1、该气体质量控制系统可配我公司生产的真空/ 及真空/气氛 使用。
2、该气体流量控制系统可以与我公司生产的真空控制系统组合使用。
3、可为用户定制多路气路产品。
液晶触摸屏控;制工艺流程一目了然;人机交互更加轻松;气体泄漏报警系统;实验操作更加安全。
规格 |
产品型号 |
气路数量 |
流量控制方式 |
连接方式 |
流量计 |
流量范围 |
精度 |
响应时间 |
工作温度 |
工作压力 |
外形尺寸mm |
重量 |
标准配件 |
触屏质量流量 |
ZL-02C |
两路 |
触屏,PLC控制 |
双卡套接头 |
质量流量计 |
0-500sccm(标准毫升/分)氮气标定 |
±1%F.S |
≤4sec |
5-45℃ |
进气压力0.05-0.3Mpa |
530x670x1800 |
80kg |
PUΦ6管/每路2米Φ4*15mm不锈钢衬管5个 |
ZL-03C |
三路 |
||||||||||||
ZL-04C |
四路 |
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